Czterofalowy czujnik interferometryczny FIS4został opracowany przez zespół profesorów z Uniwersytetu Zhejiang i Uniwersytetu Technologicznego Nanyang w Singapurze. Posiada krajową technologię patentową, łączy dyfrakcję i interferencję, realizuje czterofalowe interferencje ścinania bocznego o wspólnej ścieżce, ma super czułość wykrywania i odporność na wibracje oraz może osiągnąć szybki dynamiczny pomiar interferometrem w czasie rzeczywistym bez izolacji wibracyjnej; liczba klatek na sekundę wyświetlająca pomiar w czasie rzeczywistym osiąga ponad 10 klatek. Jednocześnie czujnik FIS4 charakteryzuje się ultrawysoką rozdzielczością fazową wynoszącą 512×512 (260 000 punktów fazowych), pasmo pomiarowe obejmuje 200nm~15μm, czułość pomiaru sięga 2nm, a powtarzalność pomiaru jest lepsza niż 1/1000λ ( RMS). Może być stosowany do analizy jakości wiązki laserowej, wykrywania pola przepływu plazmy, szybkiego pomiaru rozkładu pola przepływu w czasie rzeczywistym, oceny jakości obrazu układu optycznego, mikroskopowego pomiaru konturu i ilościowego obrazowania fazy komórek biologicznych itp.
Czujnik zakłóceń FIS4 pojedynczyścieżka optyczna interferencji wiązki
Zasada działania czterofalowego czujnika interferencyjnego polega na tym, że wykrywane czoło fali jest uginane na losowo kodowanej siatce hybrydowej, a cztery ugięte światła są generowane w dwóch prostopadłych kierunkach. Te cztery ugięte światła interferują na powierzchni obrazu i można uzyskać cztery prążki interferencyjne poprzecznego ścinania czoła fali.
Zalety czterofalowego czujnika interferencyjnego: zakłócenia pojedynczego toru optycznego charakteryzują się bardzo dużą odpornością na wibracje, nie jest wymagane światło referencyjne, prosty układ, nie jest wymagane żadne specjalne urządzenie zakłócające, szybka i łatwa regulacja, możliwe obrazowanie w czasie rzeczywistym, brak przesunięcia fazowego wymagany jest proces, który szczególnie nadaje się do precyzyjnego wykrywania w środowiskach fabrycznych.
