Czujnik czoła fali ultrafioletowej charakteryzujący się wysoką rozdzielczością fazową 2 NM RMS i wyjątkowo dużą odpornością na wibracje. Ma także rozdzielczość 512×512 pikseli (262 144 punktów fazowych), umożliwiając wykonywanie pomiarów interferencyjnych w tylnej płaszczyźnie ogniskowej. Technologia ta wymaga, aby źródło światła miało niską koherencję i eliminuje potrzebę przesunięcia fazowego. Dzięki systemowi obrazowania ultrafioletowego urządzenie umożliwia pomiar czoła fali w czasie rzeczywistym.
|
Nazwa produktu |
Czujnik czoła fali ultrafioletowej |
|
Zakres długości fali |
200 nm ~ 450 nm |
|
Rozmiar docelowy |
13,3 mm × 13,3 mm |
|
Rozkład przestrzenny |
26μm |
|
Rozdzielczość próbkowania |
512×512 (262144 pikseli) |
|
Rozdzielczość fazowa |
＜2nmRMS |
|
Absolutna dokładność |
10nmRMS |
|
Zakres dynamiczny |
90μm (256min) |
|
Częstotliwość próbkowania |
32 klatki na sekundę |
|
Szybkość przetwarzania w czasie rzeczywistym |
10 Hz (pełna rozdzielczość) |
|
Typ interfejsu |
USB3.0 |
|
Wymiar |
70 mm × 46,5 mm × 68,5 mm |
|
Waga |
około 240g |
◆Widmo UV, pasmo 200nm ~ 450nm
◆Bardzo wysoka rozdzielczość 512×512 (262144) punktów fazowych
◆Własna interferencja światła jednokanałowego, nie jest wymagane światło referencyjne
◆2nm RMS, wysoka rozdzielczość fazowa
◆Podobnie jak obrazowanie, łatwa i szybka konstrukcja ścieżki optycznej
◆Obsługuje wiązki kolimowane i niekolimowane wiązki o wysokim NA
◆Niezwykle silne działanie antywibracyjne, nie ma potrzeby stosowania optycznej izolacji drgań
Ten czujnik czoła fali ultrafioletowej BOJIONG służy do pomiaru aberracji układu optycznego, kalibracji układu optycznego, pomiaru kształtu powierzchni płaskiej (wafla), pomiaru kształtu optycznej powierzchni sferycznej itp.
|
Detekcja czoła fali wiązki laserowej |
Reakcja na wykrycie czoła fali w trybie optyki adaptacyjnej Zernike |
|
Przykład pomiaru aberracji układu optycznego
|
Przykłady pomiarów kalibracji układu optycznego
|
|
Przykład pomiaru chropowatości powierzchni płytki
|
Pomiar morfologii metodą mikrotrawienia - próbka defektu 1 # -114 linii |
Czujnik czoła fali ultrafioletowej BOJIONG opracowany przez zespół profesorów z Uniwersytetu Zhejiang i Uniwersytetu Technologicznego Nanyang w Singapurze, z opatentowaną technologią krajową, łączy dyfrakcję i interferencję, aby uzyskać wspólną czterofalową interferencję poprzecznego ścinania, z doskonałą czułością wykrywania i działaniem antywibracyjnym i może realizować szybką interferometrię dynamiczną w czasie rzeczywistym bez izolacji wibracyjnej. Pomiar w czasie rzeczywistym pokazuje liczbę klatek na sekundę większą niż 10 klatek. Jednocześnie czujnik FIS4 charakteryzuje się ultrawysoką rozdzielczością fazową wynoszącą 512×512 (260 000 punktów fazowych), pasmo pomiarowe obejmuje 200nm~15μm, czułość pomiaru sięga 2nm, a powtarzalność pomiaru jest lepsza niż 1/1000λ ( RMS). Może być stosowany do analizy jakości wiązki laserowej, wykrywania pola przepływu plazmy, pomiaru w czasie rzeczywistym rozkładu pola przepływu o dużej prędkości, oceny jakości obrazu układu optycznego, mikroskopowego pomiaru profilu i ilościowego obrazowania fazowego komórek biologicznych.
|
FIS4 Parametry techniczne poszczególnych serii wyrobów |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Produkt |
FIS4-UV |
FIS4-HR |
ZEGAR FIS4 |
FIS4-HS |
Komórka FIS4 |
FIS4-NIR |
|
Zakres długości fali |
200 ~ 450 nm |
400 ~ 1100 nm |
400 ~ 1100 nm |
400 ~ 1100 nm |
400 ~ 1100 nm |
900 ~ 1200 nm |
|
Rozmiar docelowy mm2 |
13,3 × 13,3 |
7,07 × 7,07 |
13,3 × 13,3 |
10,24×10,24 |
7,07 × 7,07 |
13,3 × 13,3 |
|
Rozkład przestrzenny |
26μm |
23,6μm |
26μm |
24,4μm |
23,6μm |
26μm |
|
Piksel obrazu |
- |
2048×2048 |
- |
- |
2048×2048 |
- |
|
Rozdzielczość wyjścia fazowego |
512×512 （262144 pikseli） |
300×300 (90000 pikseli) |
512×512 (262144 pikseli) |
420×420 (176400 pikseli) |
300×300 (90000 pikseli) |
512×512 (262144 pikseli) |
|
Rozdzielczość fazowa |
＜2nmRMS |
＜2nmRMS |
＜2nmRMS |
＜2nmRMS |
＜2nmRMS |
＜2nmRMS |
|
Absolutna dokładność |
10nmRMS |
10nmRMS |
15nmRMS |
10nmRMS |
10nmRMS |
15nmRMS |
|
Zakres dynamiczny |
90μm （256min） |
110μm （150min） |
162μm （256min） |
132μm （210min） |
110μm （150min） |
270μm （256min） |
|
Częstotliwość próbkowania |
32 klatki na sekundę |
24 klatki na sekundę |
45 klatek na sekundę |
107 kl./s |
24 klatki na sekundę |
45 klatek na sekundę |
|
Szybkość przetwarzania w czasie rzeczywistym |
10 Hz (Pełna rozdzielczość) |
10 Hz (Pełna rozdzielczość) |
10 Hz (Pełna rozdzielczość) |
10 Hz (Pełna rozdzielczość) Obsługuje opóźnione przetwarzanie wsadowe |
10 Hz (Pełna rozdzielczość) |
10 Hz (Pełna rozdzielczość) |
|
Typ interfejsu |
USB3.0 |
SIEKAĆ |
USB3.0 |
SIEKAĆ |
SIEKAĆ |
USB3.0 |
|
Interfejs zewnętrzny |
- |
- |
- |
- |
portu C |
- |
|
Rozmiar mm2 |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
|
waga |
około 240g |
około 120g |
około 240g |
około 120g |
około 120g |
około 240g |
Adres
Nr 578 Yingkou Road, dzielnica Yangpu, Szanghaj, Chiny
Tel
