Laserowy interferometr planarny

Laserowy interferometr planarny (LPI-100) z dynamiczną prędkością pomiaru w czasie rzeczywistym do 15 klatek na sekundę, jest w stanie wykrywać w czasie rzeczywistym kształt powierzchni płaskich elementów optycznych w aperturze 100 mm. Wiązka niosąca informację o kształcie powierzchni mierzonego elementu jest uginana na specjalnie zakodowanej siatce, która poprzecznie rozcina czoło fali na cztery części, tworząc dwuwymiarowy wzór interferencyjny ścinania o wspólnej drodze z czterema czołami fali. Demodulując interferencję dwuwymiarową, można uzyskać informację o kształcie powierzchni elementu.

Specyfikacja przedmiotu:

Cecha laserowego interferometru planarnego BOJIONG

◆Do 15 klatek pomiaru dynamicznego w czasie rzeczywistym

◆2 nm RMS Wysoka rozdzielczość fazowa

◆Bardzo wysoka rozdzielczość 262144 punktów fazowych

◆Może realizować dynamiczne wykrywanie w czasie rzeczywistym, może osiągnąć dynamiczne wykrywanie 15 klatek na sekundę

◆Z niezależnymi prawami własności intelektualnej, opłacalną, prostą regulacją i zwartą strukturą

◆ W oparciu o zasadę samozakłócania wspólnego kanału, sprzęt nie potrzebuje lustra referencyjnego i ma dużą odporność na zakłócenia. W zwykłym środowisku fabrycznym można również uzyskać dokładne wykrywanie płaskich powierzchni

Zastosowanie laserowego interferometru planarnego BOJIONG

Ten planarny interferometr BOJIONGLaser jest wyposażony w czterofalowe czujniki interferometryczne FIS4 do wykrywania standardowego kształtu zwierciadła planarnego, a oprogramowanie przetwarzające podaje wartość PV, wartość RMS i wartość MOCY powierzchni testowanego elementu.

Szczegóły laserowego interferometru planarnego BOJIONG

BOJIONG Planarny czterofalowy interferometr dynamiczny ogólny schemat układu

Moduły funkcjonalne Laserowego interferometru planarnego BOJIONG można podzielić na moduł źródła światła oświetlającego, moduł rozszerzający wiązkę dodatkową, moduł nośny, moduł ogniskowania punktowego pomagający w regulacji położenia próbki oraz moduł czujnika interferometrycznego do wykrywania kształtu powierzchni próbki .

Moduł źródła światła systemu wykorzystuje neonowy laser gazowo-helowy o środkowej długości fali 632,8 nm.

Moduł rozszerzający wiązkę dodatkową zwiększa rozmiar wiązki do 100 mm, spełniając wymagania detekcji o dużej średnicy.

Sekcja stolika służy do umieszczania planarnych elementów optycznych do testowania, takich jak płaskie kryształy, płytki jednorzutowe, wióry okienne, reflektory planarne itp. Stanowisko załadunkowe jest wyposażone w koła ręczne poruszające się w kierunku X i Y w celu kontrolowania ruchu próbki etapie, tak aby plamka świetlna emitowana przez urządzenie całkowicie pokrywała powierzchnię badanej próbki. Jednocześnie na scenie zainstalowano dwa pokrętła umożliwiające regulację pozycji pochylenia próbki. Regulując te pokrętła, płaszczyzna testowa jest ustawiana prostopadle do osi optycznej.

System obrazowania jest wyposażony w system podwójnej kamery. W jednym z nich zastosowano kamerę z obrazem optycznym, tworzącą moduł ogniskowania punktowego, pomagający w regulacji postawy próbki. Obserwując położenie punktu zwrotnego próbki w czasie rzeczywistym, położenie próbki jest dostosowywane w celu zapewnienia dokładności pomiaru. Druga ścieżka wyposażona jest w czterofalowy czujnik interferometryczny FIS4, tworzący moduł czujnika interferometrycznego do detekcji kształtu powierzchni próbki. Rejestrując prążki interferometryczne o wspólnej ścieżce, można uzyskać w czasie rzeczywistym informację zwrotną dotyczącą trójwymiarowych informacji na powierzchni badanej próbki. System podwójnego aparatu może działać jednocześnie.

Profesjonalny moduł oprogramowania

◆Wyposażony w oprogramowanie „Laser Planar Interferometer” może wyświetlać i wyprowadzać w czasie rzeczywistym obrazy 3D mierzonej płaszczyzny elementu optycznego, wyjściowe wartości PV, wartości RMS i wartości MOCY mierzonej powierzchni.

◆Jednocześnie oprogramowanie obsługuje eksport surowych danych z wynikami pomiarów, zapewniając ilościowe wsparcie danych detekcyjnych dla różnych badań i ułatwiając użytkownikom przeprowadzanie analiz danych i badań w przyszłości.